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申请/专利权人：兰州空间技术物理研究所
摘要：本申请涉及一种利用飞秒脉冲激光的单粒子烧毁测试方法及装置。获取单粒子烧毁测试的聚焦深度、被测器件金属布线分布和被测器件表面能量反射率；根据被测器件金属布线分布和被测器件表面能量反射率，生成单粒子烧毁测试的扫描点分布二维图；设置单粒子烧毁测试的采集电路触发阈值；根据采集电路触发阈值和扫描点分布二维图，并调整所述聚焦深度，获得所述单粒子烧毁测试的被测器件敏感区域3D分布。本申请通过测试不同飞秒脉冲激光聚焦深度下的试验结果，获得被测器件敏感区域3D分布，减小聚焦深度分布不同带来的差异，提高试验准确性；能够获得小工艺尺寸纳米被测器件的被测器件敏感区域3D分布，准确评估纳米被测器件的单粒子烧毁效应辐射危害。
主权项：1.一种利用飞秒脉冲激光的单粒子烧毁测试方法，其特征在于，包括以下步骤：获取单粒子烧毁测试的聚焦深度、被测器件金属布线分布和被测器件表面能量反射率；根据所述被测器件金属布线分布和所述被测器件表面能量反射率，生成所述单粒子烧毁测试的扫描点分布二维图；设置所述单粒子烧毁测试的采集电路触发阈值；根据所述采集电路触发阈值和所述扫描点分布二维图，并调整所述聚焦深度，获得所述单粒子烧毁测试的被测器件敏感区域3D分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兰州空间技术物理研究所 一种利用飞秒脉冲激光的单粒子烧毁测试方法及装置
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