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申请/专利权人：朗美通经营有限责任公司
摘要：在一些实施方式中，表面发射激光器可以具有具有短氧化长度和或大量沟槽的发射器设计。例如，表面发射激光器可以包括金属化层，该金属化层包括从内环部分的周边向外延伸的多个延伸部分，以及以部分环形从多个延伸部分侧向延伸的多个翼片。表面发射激光器可以进一步包括将金属化层连接到镀覆金属的多个过孔开口，其中每个过孔开口位于多个翼片中的相应翼片上方。表面发射激光器可以包括多个氧化沟槽，每个氧化沟槽形成在多个延伸部分的一对延伸部分之间的角间隙中，使得多个翼片和多个过孔开口仅在多个氧化沟槽的外半径之外。
主权项：1.一种垂直腔面发射激光器，即VCSEL，包括:p欧姆金属层，包括环形部分、从环形部分的周边向外延伸的多个延伸部分、以及从多个延伸部分侧向延伸的多个翼片，多个过孔开口，形成在过孔层上，将p欧姆金属层连接到镀覆金属层，其中，所述多个过孔开口中的每个过孔开口仅位于所述p欧姆金属层的所述多个翼片中的相应翼片上方；和多个氧化沟槽，其中所述p欧姆金属层的多个延伸部分延伸到所述多个氧化沟槽的外半径之外，使得多个翼片和多个过孔开口仅在多个氧化沟槽的外半径之外。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗美通经营有限责任公司 更短氧化长度和/或更多沟槽的垂直腔面发射激光器设计
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