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一种碳化硅生长热场用等静压石墨坏料打磨设备 

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申请/专利权人:山东华达新材料有限公司

摘要:本发明公开了一种碳化硅生长热场用等静压石墨坏料打磨设备,具体涉及打磨技术领域,主要包括支撑座、支架以及滑框,支架固定在支撑座一侧,滑框焊接在支架顶端,滑框的内壁设有均匀联动机构;均匀联动机构包括转动设置在滑框内壁的传动螺杆,滑框的一侧固定安装有用于驱动传动螺杆旋转的驱动电机。本发明采用均匀联动机构,支架对滑框提供牢牢支撑力,由控制器启动驱动电机,传动螺杆驱动两个套接块在螺纹传动力的作用下远离,套接块带动联动套架右移,另外一个套接块带动另外一个联动套架左移,两个打磨盘分别与两个等静压石墨坯料实现均匀受力打磨,等静压石墨坯料打磨更加均匀,提高打磨质量。

主权项:1.一种碳化硅生长热场用等静压石墨坏料打磨设备,包括支撑座1、支架2以及滑框3,所述支架2固定在支撑座1一侧,所述滑框3焊接在支架2顶端,其特征在于:所述滑框3的内壁设有均匀联动机构;所述均匀联动机构包括转动设置在滑框3内壁的传动螺杆4,所述滑框3的一侧固定安装有用于驱动传动螺杆4旋转的驱动电机5,所述传动螺杆4的外壁螺纹连接有两个套接块6;每个所述套接块6的底端均固定安装有联动套架7,每个所述联动套架7的内部均固定安装有传动电机8,所述传动电机8的输出端同轴传动连接有打磨盘9;所述支撑座1的另一侧安装有均力挤压组件。

全文数据:

权利要求:

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