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申请/专利权人：应用材料以色列公司
申请日：2023-10-20
公开（公告）日：2024-08-02
公开（公告）号：CN118424476A
专利技术分类：
专利摘要：一种用于相位恢复的方法，所述方法可包括：a获得一个或多个点扩散函数目标的多个失焦强度图像；其中所述失焦强度图像是通过基于由具有超过0.8的数值孔径的光学单元的残余收集通道获得的残余收集的光信号生成的；以及b基于所述多个失焦强度图像并基于点扩散函数的矢量模型来计算相位信息。
专利权项：1.一种用于相位恢复的方法，所述方法包括：获得一个或多个点扩散函数目标的多个失焦强度图像；其中所述多个失焦强度图像是基于由具有超过0.8的数值孔径的光学单元的残余收集通道获得的残余收集的光信号生成的；以及基于所述多个失焦强度图像并基于点扩散函数的矢量模型来计算相位信息。
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