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申请/专利权人：易东科技(清远)有限公司
摘要：本发明提供一种超声波高压有机褪膜方法，所述方法为：将完成了镀铜工序以后的基板，①用有机褪膜工作液浸泡，②再经超声波浸泡喷淋，③再用高压喷淋冲洗，④清洗干净，⑤进入蚀刻工序。本发明以有机褪膜结合超声波高压，对mSAP图形电镀后以有机褪膜结合超声波高压的方法改良褪膜良率，通过机械和化学的方式将覆盖在铜表面的干膜清除干净，可以完全改善铜面洁净性解决褪膜不净、渗透不良、夹膜、残膜的问题。
主权项：1.一种超声波高压有机褪膜方法，其特征在于，所述方法为：将完成了镀铜工序以后的基板，①用有机褪膜工作液超声浸泡，②再经超声波喷淋水洗，③再用高压喷淋冲洗，④清洗干净，⑤进入蚀刻工序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 易东科技(清远)有限公司 一种超声波高压有机褪膜方法
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