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申请/专利权人：德清卡诺晶体纤维有限公司

摘要：本发明涉及炉芯制作技术领域，提出了PECVD和硼扩加热炉内芯制作装置及其生产工艺，装置包括底座和转动连接于底座外表面的转辊，还包括底部支架和炉体管；所述炉体管的一端活动连接有底固定板，另一端固定连接有顶固定板，所述顶固定板的外表面活动连接有顶部闷板，所述顶固定板的外表面固定连接有真空管，所述顶固定板的外表面开设有卡孔，所述底固定板的外表面开设有卡槽。通过上述技术方案，解决了现有加热炉芯制作工艺容易产生倒丝坍塌，高温稳定性较差，炉管内细丝工艺技术在稳定性上得到加强，但寿命较短，现有炉芯在700℃以下的镀膜工艺寿命可以达到半年及以上，但是在1050℃镀膜工艺下的硼扩炉内的寿命往往只有1‑3个月，甚至更短的问题。

主权项：1.PECVD和硼扩加热炉内芯制作装置，包括底座（1）和转动连接于底座（1）外表面的转辊（2），其特征在于，还包括底部支架（5）和炉体管（10）；所述炉体管（10）的一端活动连接有底固定板（6），另一端固定连接有顶固定板（7），所述顶固定板（7）的外表面活动连接有顶部闷板（8），所述顶固定板（7）的外表面固定连接有真空管（9），所述顶固定板（7）的外表面开设有卡孔（12），所述底固定板（6）的外表面开设有卡槽（11），所述卡孔（12）的内部分别贯穿设置有塑料条（13）和空心钢管（14），所述炉体管（10）的外表面绕设有脱模布（15）；所述转辊（2）用于承托模具部分，所述底部支架（5）的一端转动连接有转动架（3），所述转动架（3）的外侧固定连接有辅助杆（4）；所述炉体管（10）为空心的柱状结构且炉体管（10）的外表面开设有负压吸气的通孔，所述卡孔（12）的开口刚好可供一组塑料条（13）和空心钢管（14）穿过，所述卡槽（11）的向内凹陷的槽口与卡孔（12）相匹配，所述空心钢管（14）和塑料条（13）用于为成型的炉芯预留加热件的槽口，所述卡槽（11）与炉体管（10）以及顶部闷板（8）与顶固定板（7）之间均通过螺栓固定，所述顶部闷板（8）用于对空心钢管（14）和塑料条（13）的位置进行固定限位，所述真空管（9）的数量为若干组且为环状阵列分布；所述辅助杆（4）以转动架（3）的轴心为轴心转动，且辅助杆（4）用于辅助空心钢管（14）的转动、促进炉芯的成型，所述底部支架（5）的下端抵在底座（1）的外表面边缘处。

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