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申请/专利权人：弘元新材料(包头)有限公司;弘元绿色能源股份有限公司

摘要：本发明公开了一种适用于低埚转的硅棒的放肩工艺，包括以下操作步骤：进行引晶加工，引晶拉速达标，主加热器根据不同长度逐步降低功率，总共降低10.0‑13.0kw，放肩中先提升拉速后逐步降低拉速；放肩长度0mm时，放肩降温0.5kw，拉速50mmh使炉内温度稳定，直径增加，进入放肩状态；放肩长度达到10‑30mm时，放肩降温2‑3.5kw，拉速45‑60mmh，埚升0mmh，使放肩直径逐步增大；放肩长度达到40‑60mm，使温度保持稳定，逐步提升拉速控制肩型。本发明所述的一种适用于低埚转的硅棒的放肩工艺，保持低埚转降氧同时，提升放肩成活率，通过设定直径，根据直径偏差自动调节拉速，保持肩型一致性，通过降低放肩断线率，提升有效产出，提升单产，从而降低硅片成本。

主权项：1.一种适用于低埚转的硅棒的放肩工艺，其特征在于：包括以下操作步骤：S1：进行引晶加工，引晶拉速达标，主加热器根据不同长度逐步降低功率，总共降低10.0-13.0kw，放肩中先提升拉速后逐步降低拉速；S2：放肩长度0mm时，放肩降温0.5kw，拉速50mmh使炉内温度稳定，直径增加，进入放肩状态；S3：放肩长度达到10-30mm时，放肩降温2-3.5kw，拉速45-60mmh，埚升0mmh，使放肩直径逐步增大；S4：放肩长度达到40-60mm时，放肩降温0-0.5kw，拉速60-72mmh，埚升0-1.5mmh，使温度保持稳定，逐步提升拉速控制肩型；S5：放肩长度达到70-120mm时，放肩降温0.5-1.5kw，拉速70-95mmh，埚升1.5-3mmh，使温度继续下降，直径继续增加；S6：放肩长度达到70-120mm时，放肩降温0.5-1.5kw，拉速70-95mmh，埚升1.5-3mmh，使温度继续下降，直径继续增加；S7：放肩长度130-260mm时，放肩降温4-5kw，累计降温10kw，拉速70-95mmh逐步下降，埚升3-6mmh，使温度继续下降，直径增加至245-249mm，进入下一步骤；S8：其中在放肩全程埚转≤5埚转，实现高成活率，高品质的放肩目标，随着放肩长度增加，放肩拉速逐步提升达到一定长度后逐步下降，放肩过程根据实时直径与设定直径，在基础拉速上叠加调整拉速，实际直径大与设定时，拉速上升，实际直径小于设定直径时，拉速下降。

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