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申请/专利权人：太仓迪科力科技有限公司
摘要：本发明属于半导体加工技术领域，具体是基于半导体制程用揭膜胶带的加热控制系统，包括处理器、揭膜胶带加热模块、加热监测模块、加热运行偏检模块和运行预警模块；本发明通过揭膜胶带加热模块对揭膜胶带进行加热，加热监测模块通过加热止步分析以判断是否生成加热停止信号，实现对揭膜胶带加热温度的精确控制，且通过加热运行偏检模块对揭膜胶带加热模块的运行偏离状况进行分析，温度分布检测模块将相应加热过程进行温度分布检测分析，实现加热过程的有效监管，降低加热过程对半导体晶圆造成的损害，且能够及时对加热元件进行检查维护，有利于保证其使用性能，使用管理难度小，智能化程度高。
主权项：1.基于半导体制程用揭膜胶带的加热控制系统，其特征在于，包括处理器、揭膜胶带加热模块、加热监测模块、加热运行偏检模块和运行预警模块；当需要对揭膜胶带进行加热时，通过处理器使揭膜胶带加热模块启动运行，揭膜胶带加热模块将电能转化为热能以进行揭膜胶带的加热；加热监测模块对加热过程进行实时监测，通过加热止步分析以判断是否生成加热停止信号，在生成加热停止信号时通过处理器使揭膜胶带加热模块停止运行；加热运行偏检模块用于对揭膜胶带加热模块的运行偏离状况进行分析，通过分析生成运行高偏信号或运行低偏信号，且将运行高偏信号或运行低偏信号发送至处理器，处理器在接收到运行高偏信号时使运行预警模块发出相应预警；加热止步分析的具体分析过程如下：采集到揭膜胶带上若干个检测点的实时温度，将对应检测点的实时温度与预设温度阈值进行数值比较，若实时温度超过预设温度阈值，则将对应检测点标记为加热超温点；若揭膜胶带上存在加热超温点，则生成加热停止信号；若揭膜胶带上不存在加热超温点，则将所有检测点的实时温度进行均值计算得到加热温测值，并将数值最大的实时温度标记为加热温幅值，通过将加热温测值与加热温幅值进行数值计算得到加热温况值，将加热温况值与预设加热温况阈值进行数值比较，若加热温况值超过预设加热温况阈值，则生成加热停止信号。
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权利要求：
百度查询： 太仓迪科力科技有限公司 基于半导体制程用揭膜胶带的加热控制系统
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