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申请/专利权人：捷造科技(宁波)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种PECVD载板回传设备，包括：第一回传线与第二回传线，其中，所述第一回传线包括出片室、下料台，以及至少一个工艺室，每个所述工艺室分为前后两组，每组由三个工位一体构成进行集体传片，前一组的三个工位为非工艺位，后一组的三个工位为工艺位，所述第二回传线包括进片室以及多个前后连接的单工位，所述单工位进行单独传片，所述第一回传线与第二回传线通过PLC控制形成整条自动化线。本实用新型的优点是：结构简单，减少工位待机时间，提高了产线效率。
主权项：1.一种PECVD载板回传设备，其特征在于，包括：第一回传线与第二回传线，其中，所述第一回传线包括出片室、下料台，以及至少一个工艺室，每个所述工艺室分为前后两组，每组由三个工位一体构成进行集体传片，前一组的三个工位为非工艺位，后一组的三个工位为工艺位，所述第二回传线包括进片室以及多个前后连接的单工位，所述单工位进行单独传片，所述第一回传线与第二回传线通过PLC控制形成整条自动化线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 捷造科技(宁波)有限公司 一种PECVD载板回传设备
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