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申请/专利权人：厦门普诚半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种EUV光清洗装置，属于3D眼镜生产技术领域，其技术方案要点包括工作台，工作台上设置有龙门架，龙门架上设置有光清洗组件，工作台上设置有竖向导轨，竖向导轨上移动设置有治具组件，工作台上移动设置有上料搬运组件，上料搬运组件将产品搬运至治具组件上，光清洗组件对治具平台上的产品进行清洗，龙门架上还设置有用于搬运清洗后产品的下料搬运组件；本发明的优点在于实现了产品的自动清洗与自动上下料，减少人力，没有二次污染的风险，且提高了清洗效率与清洗质量。
主权项：1.一种EUV光清洗装置，其特征在于：包括工作台，所述工作台上设置有龙门架，所述龙门架上设置有光清洗组件，所述工作台上设置有竖向导轨，所述竖向导轨上移动设置有治具组件，所述工作台上移动设置有上料搬运组件，所述上料搬运组件将产品搬运至治具组件上，所述光清洗组件对治具平台上的产品进行清洗，所述龙门架上还设置有用于搬运清洗后产品的下料搬运组件；所述治具组件包括滑动连接于导轨上的安装板，所述安装板上转动连接有治具平台，所述治具平台包括支架，所述支架的上下两端分别对称设置有夹持件，两所述夹持件其中之一沿支架上下移动，所述夹持件上转动连接有若干用于放置产品的夹持块，当所述上料搬运组件将产品放置于夹持块上时，所述夹持件向下移动将产品夹持固定。
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权利要求：
百度查询： 厦门普诚半导体科技有限公司 一种EUV光清洗装置
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