龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
摘要：本发明涉及一种异山梨醇基强碱性季铵碱，及包含其的多晶硅蚀刻液、其制备方法及应用。所述多晶硅蚀刻液，组分中包含异山梨醇基强碱性季铵碱，非离子表面活性剂和超纯水。本发明蚀刻液在多叠层蚀刻过程可保证多晶硅蚀刻均一性，与此同时在最佳蚀刻条件下，蚀刻液具有良好的使用寿命与稳定性，可在3D闪存芯片领域应用，用于解决以往蚀刻过程中底部多晶硅蚀刻深度与顶部不一致，蚀刻液浓度受温度影响变大问题。
主权项：1.一种异山梨醇基强碱性季铵碱，其特征在于，所述异山梨醇基强碱性季铵碱为下式Ⅱ化合物： 式Ⅱ其中，R2选自甲基、乙基、丙基或丁基。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江奥首材料科技有限公司 一种异山梨醇基强碱性季铵碱，及包含其的多晶硅蚀刻液、其制备方法及应用
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号