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申请/专利权人：无锡荣能半导体材料有限公司
摘要：本发明公开了超薄多晶硅片切片机中的尾气处理装置，涉及分离技术领域；为了解决便捷性问题；具体包括导流罩，所述导流罩的顶部通过多个并列的过滤分离部连接有电动负压风机；所述过滤分离部包括焊接于导流罩、电动负压风机相对一侧的过烟通道以及通过螺栓固定于过烟通道的支架，所述支架位于过烟通道内部的内壁固定有滤芯。本发明通过设置多组并列的过滤分离部，且每组过滤分离部可利用驱动器对阀杆的驱动实现阀板的状态控制，从而可实现过烟通道的通断控制，从而在对于单个的滤芯需要更换时，可将该过烟通道进行关闭，其余的过滤分离部仍可正常使用，等待替换件的到位，增加了使用的便捷性。
主权项：1.超薄多晶硅片切片机中的尾气处理装置，包括导流罩1，其特征在于，所述导流罩1的顶部通过多个并列的过滤分离部2连接有电动负压风机3；所述过滤分离部2包括焊接于导流罩1、电动负压风机3相对一侧的过烟通道4以及通过螺栓固定于过烟通道4的支架6，所述支架6位于过烟通道4内部的内壁固定有滤芯5；且所述过烟通道4的内壁通过阀杆9转动连接有阀板8，阀板8的外壁粘接有密封圈7，所述过烟通道4的外壁设置有用于对阀杆9驱动的驱动器10。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡荣能半导体材料有限公司 超薄多晶硅片切片机中的尾气处理装置
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