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申请/专利权人：安徽亚格盛电子新材料股份有限公司
摘要：本发明提供一种ppm级二甲醚标准混气配置装置及方法，用采气袋收集高纯度的二甲醚，连接混气配气系统，用底气置换干净各个管路，打开事先用底气置换好的且处于真空状态的标气瓶，用负压把二甲醚压入标气瓶，再用底气置换管路3次，最后补入底气至设定的压力，完成ppm级标气配置；操作简单、配置精度高、可配置多种ppm级浓度的标准气体。
主权项：1.一种ppm级二甲醚标准混气配置方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）制备二甲醚，用采气袋对二甲醚进行收集，用核磁和GC检测纯度；（2）配气前，用混合底气置换管路和标气瓶，置换结束后使标气瓶处于绝压状态；（3）将采集好二甲醚的采气袋与连通管连接，关闭标气瓶阀门，用混合底气置换连通管与采气袋连接处，置换后充入混合底气，并保持正压；（4）关闭阀门b、阀门c和底气瓶，打开标气瓶和阀门d，使配气系统处于绝压状态；（5）打开阀门b和采气袋活塞，用标气瓶通过绝压作用把二甲醚吸入，然后关闭阀门b和采气袋活塞；（6）用混合底气置换管路3次，然后补充相应压力的底气，底气为常温状态，ppm级标气配置完成；（7）使用GC检测ppm级标气的准确性；步骤1中二甲醚通过金属钠和甲醇反应制备甲醇钠溶液，再滴加碘甲烷制备高纯二甲醚，二甲醚用液氮冷冻，在-15℃进行采集，采集前用混合底气置换采气袋3次，并抽成绝压。
全文数据：
权利要求：
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