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申请/专利权人：泉芯半导体科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型公开一种晶圆甩干机的电机安装结构及立式晶圆甩干机，该晶圆甩干机的电机安装结构包括基座、外筒和驱动电机，外筒固定安装在基座的第一端，驱动电机通过安装支架固定安装在基座的第二端，驱动电机的转轴密封穿入外筒内，安装支架包括第一安装架和第二安装架，第一安装架和第二安装架间隔且可拆装地安装在基座上，第一安装架被配置为支撑并固定驱动电机的头端，第二安装架被配置为支撑并固定驱动电机的尾端，第一安装架的底部和第二安装架的底部与基座之间均设置有缓冲组件。上述电机安装结构在安装支架与基座之间设置缓冲组件，能够降低甩干机工作的震动，保证了晶圆甩干机运行的平稳性。
主权项：1.一种晶圆甩干机的电机安装结构，其特征在于，所述晶圆甩干机的电机安装结构包括基座、外筒和驱动电机，其中，所述外筒固定安装在所述基座的第一端，所述驱动电机通过安装支架固定安装在所述基座的第二端，所述驱动电机的转轴密封穿入所述外筒内，所述安装支架包括第一安装架和第二安装架，所述第一安装架和第二安装架间隔且可拆装地安装在所述基座上，所述第一安装架被配置为支撑并固定所述驱动电机的头端，所述第二安装架被配置为支撑并固定所述驱动电机的尾端，所述第一安装架的底部和所述第二安装架的底部与所述基座之间均设置有缓冲组件。
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