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申请/专利权人：河北中科微电子有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆清洁甩干机，包括工作箱，所述工作箱的底侧壁上固定连接有多个支撑腿，所述工作箱的底侧壁上固定连接有机箱，所述机箱的内部固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有第一转动杆，所述第一转动杆贯穿工作箱的底侧壁，所述第一转动杆的上端固定连接有转盘，所述转盘上设置晶圆固定装置，所述第一转动杆的侧壁上设有吹气干燥装置，所述工作箱的侧壁上固定连接水泵，所述水泵的吸水端固定连接有吸水管，所述水泵的出水端固定连接有连接软管。本实用新型不仅实现了清洗和甩干为一体的设计，节省了加工时间，提高了加工效率，同时在甩干过程还可对晶圆片进行吹风，提高晶圆片的干燥效率。
主权项：1.一种晶圆清洁甩干机，包括工作箱23，其特征在于，所述工作箱23的底侧壁上固定连接有多个支撑腿20，所述工作箱23的底侧壁上固定连接有机箱16，所述机箱16的内部固定连接有电机17，所述电机17的输出轴固定连接有第一转动杆18，所述第一转动杆18贯穿工作箱23的底侧壁，所述第一转动杆18的上端固定连接有转盘19，所述转盘19上设置晶圆固定装置，所述第一转动杆18的侧壁上设有吹气干燥装置，所述工作箱23的侧壁上固定连接水泵14，所述水泵14的吸水端固定连接有吸水管22，所述水泵14的出水端固定连接有连接软管13，所述连接软管13的一端固定连接有出水管11，所述出水管11底侧壁固定连接有转动轴12，所述转动轴12转动连接在工作箱23的侧壁上，所述出水管11的底侧壁上设有多个喷水嘴7。
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百度查询： 河北中科微电子有限公司 一种晶圆清洁甩干机
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