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一种芯片微观缺陷亮点检测设备 

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申请/专利权人:广东金鉴实验室科技有限公司

摘要:本发明涉及微观检测技术领域,且公开了一种芯片微观缺陷亮点检测设备,包括操作台、检测组件,所述检测组件包括安装架,所述安装架滑动安装在操作台上,所述安装架上安装有挡光板,所述安装架上滑动安装有滚珠滑块,所述滚珠滑块上安装有显微镜,所述安装架上转动安装有小丝杆,所述小丝杆的前端连接有手轮,所述操作台上转动安装有大丝杆,所述大丝杆的左端连接有转轮。通过检测组件的设置,使得工作人员可以通过转动手轮和转轮对显微镜进行水平方向上的四向调节,使显微镜可以从不同角度对托盘上的多个芯片进行检测,提高了显微镜的灵活性,并且一次可以对多个芯片进行检测,提高了检测效率。

主权项:1.一种芯片微观缺陷亮点检测设备,其特征在于,包括:操作台1;检测组件4,用于对芯片进行微观缺陷检测;输送装置5,用于输送待检测的芯片;居中装置6,用于居中摆正待检测的芯片;所述操作台1上安装有显示器2,所述检测组件4设置在操作台1上,所述输送装置5设置在操作台1上,所述居中装置6设置在操作台1上。

全文数据:

权利要求:

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