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申请/专利权人：常州光芯集成光学有限公司
摘要：本申请涉及三维光波导领域，尤其是涉及一种三维渐变光波导及其制备方法。一种三维渐变光波导，包括相对抵接固定设置的一对玻璃晶圆，每层所述玻璃晶圆均设有经多次套刻出所需的第一掩膜和第二掩膜，每层所述玻璃晶圆均包括两层折射率不同的波导。本申请通过尝试新型两次套刻工艺，确定三维渐变光波导的框架，分别进行低折射率波导热离子工艺与高折射率波导热离子工艺，最后通过常规电场辅助离子交换，在玻璃衬底上形成三维渐变光波导的结构，由于该三维渐变光波导包含两种折射率波导，有效改善了三维光波导材料的折射率的变化状态，从而能有效调节其耦合效率，通过设计光波导图形结构，可以更加精确地制备出符合设计要求的三维渐变光波导。
主权项：1.一种三维渐变光波导，其特征在于，包括相对抵接固定设置的一对玻璃晶圆，每层所述玻璃晶圆均设有经多次套刻出所需的第一掩膜和第二掩膜，每层所述玻璃晶圆均包括两层折射率不同的波导。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州光芯集成光学有限公司 一种三维渐变光波导及其制备方法
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