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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：根据本技术的多个实施方式的电镀系统可以包括镀敷腔室，该镀敷腔室被构造成将金属材料沉积到在该镀敷腔室中定位的基板上。该镀敷腔室可以包括转子和容器。所述电镀系统可以包括至少一个阻挡物，所述阻挡物定位在该镀敷腔室中。所述至少一个阻挡物可以界定多个槽。所述至少一个阻挡物可以被构造成限制或者防止流体在该镀敷腔室的操作期间溅到该转子或者该镀敷腔室。
主权项：1.一种电镀系统，包括：镀敷腔室，所述镀敷腔室被构造成将金属材料沉积到在所述镀敷腔室中定位的基板上，所述镀敷腔室包括转子和容器；和至少一个阻挡物，所述阻挡物定位在所述镀敷腔室中，所述至少一个阻挡物界定多个槽，所述至少一个阻挡物被构造成防止流体在所述镀敷腔室的操作期间溅到所述转子或者所述镀敷腔室。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 具有防溅阻挡物的桨腔室
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