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申请/专利权人：苏州雨竹机电有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，涉及晶圆浸泡设备技术领域，包括端盖连接座、齿条连接板、连接轴、齿轮、齿条、导向轴、导向槽和丝杆。本实用新型中，丝杆的旋转运动通过丝杆螺母带动齿条连接板进行升降运动，齿条连接板带动齿条进行升降运动，齿条的升降运动可带动齿轮进行正反方向的旋转运动，卡匣柱随着连接轴进行正反方向的旋转运动，导向轴随着卡匣柱进行运动，导向槽对导向轴进行导向和限位处理，进而实现对卡匣柱的旋转角度进行限定，使得卡匣柱只能在一定角度内进行旋转运动，使得卡匣柱夹持的晶圆以一定倾斜角度进行排液和吹风除液处理，可让晶圆尾部排液效果更佳。
主权项：1.一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，包括旋转卡匣模组1，其特征在于：所述旋转卡匣模组1包括卡匣柱6、端盖连接座7和齿条连接板8，所述卡匣柱6外壁两侧通过连接轴9与端盖连接座7转动连接，所述连接轴9外壁于端盖连接座7外侧套设有齿轮10，所述齿条连接板8底部两端竖直设有与齿轮10相啮合的齿条11，所述卡匣柱6外壁两侧对称设有导向轴12，所述端盖连接座7外壁开设有与导向轴12相匹配的导向槽13，所述端盖连接座7顶部中心竖直设有转动连接的丝杆14，所述齿条连接板8通过丝杆螺母与丝杆14匹配活动连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州雨竹机电有限公司 一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构
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