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申请/专利权人：苏州晶樱光电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了具有自动换液功能的硅片脱胶槽，包括脱胶槽，所述脱胶槽的一侧设置有自动补液机构，所述自动补液机构包括设置于脱胶槽附近的储液槽，所述储液槽的一侧设置有与储液槽连通的第二泵体，所述第二泵体的一侧设置有抽入管，抽入管远离第二泵体的一端与脱胶槽的一侧上端连接，所述脱胶槽内腔的一侧设置有液位计。该具有自动换液功能的硅片脱胶槽，通过设置的第二泵体、储液槽、抽入管、液位计、第二控制阀配合控制器可以实现对脱胶槽内部的自动补充脱胶液，液位较低时液位计将信号传递给控制器，进而控制器控制第二控制阀和第二泵体，然后第二泵体抽取储液槽中的脱胶液向脱胶槽中补充，提高了效率。
主权项：1.具有自动换液功能的硅片脱胶槽，包括脱胶槽1，其特征在于：所述脱胶槽1的一侧设置有自动补液机构，所述自动补液机构包括设置于脱胶槽1附近的储液槽2，所述储液槽2的一侧设置有与储液槽2连通的第二泵体4，所述第二泵体4的一侧设置有抽入管8，抽入管8远离第二泵体4的一端与脱胶槽1的一侧上端连接，所述脱胶槽1内腔的一侧设置有液位计11，储液槽2的一侧设置有控制器5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州晶樱光电科技有限公司 具有自动换液功能的硅片脱胶槽
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