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申请/专利权人：南茂科技股份有限公司
摘要：本公开提供一种用于对半导体夹持工件进行清洁的清洁设备，其包括清洁腔室、固定基座、储水槽以及电动机。固定基座设置于清洁腔室内并用以承载半导体夹持工件，其中固定基座包括真空孔以及喷水孔。储水槽耦接固定基座并与喷水孔流体连通。电动机耦接储水槽并与喷水孔以及真空孔流体连通，以经由真空孔对半导体夹持工件提供真空吸力，并将储水槽内的清洁液体经由喷水孔喷洒至半导体夹持工件。
主权项：1.一种清洁设备，用于对半导体夹持工件进行清洁，其特征在于，包括：清洁腔室；固定基座，设置于所述清洁腔室内并用以承载所述半导体夹持工件，其中所述固定基座包括真空孔以及喷水孔；储水槽，耦接所述固定基座并与所述喷水孔流体连通；以及电动机，耦接所述储水槽并与所述喷水孔以及所述真空孔流体连通，以经由所述真空孔对所述半导体夹持工件提供真空吸力，并将所述储水槽内的清洁液体经由所述喷水孔喷洒至所述半导体夹持工件。
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百度查询： 南茂科技股份有限公司 清洁设备
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