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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明公开了一种拼接圆形靶材的绑定方法，属于金属加工领域。本发明所述方法通过采用限位装置配合限位金属丝进行实施，可有效控制多个子靶材进行拼接时间隙大小，适用于不同尺寸或工艺条件的靶材绑定，绑定后的拼接圆形靶材中靶材与背板的间隙可控，靶材与靶材间的间隙均一性高。
主权项：1.一种拼接圆形靶材的绑定方法，其特征在于，包括以下步骤：1在待绑定的靶材和圆形背板的非绑定面上设置高温胶布进行隔离；2设置焊料，同时将待绑定的靶材和圆形背板加热至焊料熔点以上；3设置一限位装置，包括环形可弯曲金属间隙片和固定卡扣，所述固定卡扣连接在环形可弯曲金属间隙片设有的若干间隔孔上中的两个上，通过连接两个间隔孔距离调节环形可弯曲金属间隙片的环形大小；4将限位装置根据产品要求调节可弯曲金属间隙片的环形大小后，放置在圆形背板绑定面上，保温，随后在靶材和圆形背板的绑定面上涂覆焊料；5在限位装置内的圆形背板涂覆焊料面上按照产品要求位置依次放置铜丝和若干块靶材，所述铜丝不裸露在圆形背板和靶材间隙中；所述若干块靶材间放置限位金属丝；6再次调节限位装置中固定卡扣的连接间隔孔距离，使得限位装置完全固定靶材绑定位置，在靶材上设置隔热垫片，同时设置垂直向下的压力，静置绑定；7待靶材绑定在圆形背板上后，撤除限位金属丝，冷却，拆卸限位装置，即完成所述拼接圆形靶材的绑定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种拼接圆形靶材的绑定方法
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