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申请/专利权人：奥路丝科技有限公司

摘要：本发明涉及一种套刻测量装置。本发明提供一种套刻测量装置，其测量分别形成于设置在晶圆的彼此不同的层的第一套刻标记与第二套刻标记之间的误差的装置，所述套刻测量装置包括：光源；第一分束器，其将从所述光源出射的光束分离为两个光束；第一滤色器，其将由所述第一分束器分离的光束中的一个光束的中心波长和带宽调节为适合于获取所述第一套刻标记图像；第二滤色器，其将由所述第一分束器分离的光束中的另一个光束的中心波长和带宽调节为适合于获取所述第二套刻标记图像；光束组合器，其组合通过了所述第一滤色器和第二滤色器的光；物镜，其将由所述光束组合器组合的光束聚光于晶圆的测量位置，并收集从测量位置反射的光束；第二分束器，其将由所述物镜收集的光束分离为两个光束；第一检测器，其检测由所述第二分束器分离的光束中的一个光束以获取所述第一套刻标记图像；第二检测器，其检测由所述第二分束器分离的光束中的另一个光束以获取所述第二套刻标记图像。

主权项：1.一种套刻测量装置，其测量分别形成于设置在晶圆的彼此不同的层的第一套刻标记与第二套刻标记之间的误差，所述套刻测量装置的特征在于，包括：光源；第一分束器，其将从所述光源出射的光束分离为两个光束；第一滤色器，其将由所述第一分束器分离的光束中的一个光束的中心波长和带宽调节为适合于获取所述第一套刻标记图像；第二滤色器，其将由所述第一分束器分离的光束中的另一个光束的中心波长和带宽调节为适合于获取所述第二套刻标记图像；光束组合器，其组合通过了所述第一滤色器和第二滤色器的光；物镜，其将由所述光束组合器组合的光束聚光于晶圆的测量位置，并收集从测量位置反射的光束；第二分束器，其将由所述物镜收集的光束分离为两个光束；第一检测器，其检测由所述第二分束器分离的光束中的一个光束以获取所述第一套刻标记图像；第二检测器，其检测由所述第二分束器分离的光束中的另一个光束以获取所述第二套刻标记图像；焦点致动器，其调节所述第二分束器与所述第二检测器之间的距离；以及变焦镜头，其设置于所述第二分束器与所述焦点致动器之间，并且利用所述焦点致动器引起的所述第二检测器的位置变化值来使所述第二套刻标记图像与第一套刻标记图像的倍率一致。

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