龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：崔新军
摘要：本发明提供了一种空心阴极宽束考夫曼离子源，涉及一种离子源，其包括放电室筒、阴极组件、阳极、充气嘴、离子引出系统和中和器，阴极组件包括阴极、阴极座和阴极靴，阴极座的底部侧面连接后磁钢座，阴极为空心阴极钽管且设置在阴极座的中心，阴极靴镶嵌在阴极座上部的圆柱形筒内，阴极靴的上部为倒锥形空心结构，阴极靴的中心与阴极的内部连通，充气嘴与阴极和阴极靴的中心连通，阳极设置在阴极组件的上部，离子引出系统的下表面中心设置散流器。本发明可以在较宽的高真空范围内的本底真空环境下稳定输出大口径均匀性较好的离子束。
主权项：1.一种空心阴极宽束考夫曼离子源，其特征在于：包括放电室筒、阴极组件、阳极、充气嘴、离子引出系统和中和器，所述放电室筒的外侧设置永磁钢棒，所述放电室筒和永磁钢棒均通过位于底部的后磁钢座和位于顶部的前磁钢座固定，所述阴极组件和所述阳极同轴设置在所述放电室筒的内部，所述离子引出系统设置在所述前磁钢座的上部，所述中和器设置在所述离子引出系统的上部，所述阴极组件包括阴极、阴极座和阴极靴，所述阴极座的底部侧面连接所述后磁钢座，所述阴极为空心阴极钽管且设置在所述阴极座的中心，所述阴极靴镶嵌在所述阴极座上部的圆柱形筒内，所述阴极靴的上部为倒锥形空心结构，所述阴极靴的中心与所述阴极的内部连通，所述充气嘴与所述阴极和阴极靴的中心连通，所述阳极设置在所述阴极组件的上部，所述离子引出系统的下表面中心设置散流器，所述阳极的下部为空心圆柱体结构，上部为锥台形空心结构，所述阳极的锥台形空心结构的上端面面积大于下端面面积，所述空心圆柱体结构的下端面与所述阴极靴的上部倒锥形空心结构相对应，所述锥台形空心结构的上端面与所述前磁钢座的下端面相对应，所述阳极通过支撑组件与所述阴极座连接，所述支撑组件包括阳极支柱和阳极固定陶瓷柱，所述阳极支柱通过所述阳极固定陶瓷柱与所述阴极座连接，所述阳极支柱包括阳极陶瓷支柱和阳极接线支柱，所述阳极接线支柱同轴设置在所述阳极陶瓷支柱的内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 崔新军 一种空心阴极宽束考夫曼离子源
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号