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申请/专利权人：临沂沭盛企业管理有限公司
摘要：本专利公开了一种连续真空升华气相沉积炉分段轮流收集装置，包括沉积炉本体，所述沉积炉本体内放置有金属件，所述沉积炉本体内安装有加热源，所述加热源上安装有网罩，所述网罩内放置有材料；所述沉积炉本体上安装有收集结构，所述收集结构的数量为两个，所述收集结构以沉积炉本体的中线为中心成两侧上下对称分布；所述圆管安装在沉积炉本体上，加热源加热网罩内的材料，并产生气体，气体下沉到金属件表面，在金属件表面发生化学反应，沉积出所需固体薄膜，同时两侧的抽风机连续先后交替工作，使沉积炉本体内沉降过程中的多余气态副产物经分段轮流经收集罩、管道和吸头抽出，使沉积炉本体内连续真空处理。
主权项：1.一种连续真空升华气相沉积炉分段轮流收集装置，包括沉积炉本体（1），其特征在于：所述沉积炉本体（1）内放置有金属件（8），所述沉积炉本体（1）内安装有加热源（9），所述加热源（9）上安装有网罩（10），所述网罩（10）内放置有材料（11）；所述沉积炉本体（1）上安装有收集结构（4），所述收集结构（4）的数量为两个，所述收集结构（4）以沉积炉本体（1）的中线为中心成两侧上下对称分布；所述收集结构（4）包括圆管（401）、抽风机（402）、通孔（403）、管道（404）、吸头（405）、收集罩（406）和圆孔（407）；所述圆管（401）安装在沉积炉本体（1）上，所述抽风机（402）安装在圆管（401）内，所述通孔（403）开设在沉积炉本体（1）上，所述管道（404）安装在通孔（403）内，所述吸头（405）通接在管道（404）上，所述吸头（405）置于圆管（401）内，所述圆孔（407）开设在收集罩（406）上，所述管道（404）安装在圆孔（407）内，所述收集罩（406）置于沉积炉本体（1）内。
全文数据：
权利要求：
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