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一种提升分布密度的焦点平移方法及相应的激光加工装置 

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申请/专利权人:北京镭科光电科技有限公司

摘要:本发明公开了一种提升分布密度的焦点平移方法及相应的激光加工装置。该方法包括如下步骤:通过聚焦装置形成聚焦光斑;控制聚焦装置从初始位置平移预设距离到新位置;其中,预设距离为聚焦光斑的半径;重复上述过程,在聚焦焦点不重叠的前提下控制聚焦装置依次单向平移;并且,经过多次平移后,聚焦装置在初始位置时的相邻聚焦焦点之间的连线上,仅有预设数量的聚焦装置在新位置时的聚焦焦点,以使得聚焦光斑的焦点能量密度提高。本发明通过独特的焦点平移方法,能够在不重叠的前提下,经过多次平移后,在相邻聚焦焦点之间的连线上形成预设数量的新聚焦焦点,从而显著提高聚焦光斑的焦点能量密度。

主权项:1.一种提升分布密度的焦点平移方法,其特征在于包括如下步骤:通过聚焦装置形成聚焦光斑;其中,所述聚焦光斑包括多个聚焦焦点,并且多个聚焦焦点呈周期性均匀排列,分为M个单元,每个单元包括N个聚焦焦点,其中M、N为正整数;控制所述聚焦装置从初始位置平移预设距离到新位置;其中,所述预设距离为所述聚焦光斑的半径;重复上述过程,在聚焦焦点不重叠的前提下控制所述聚焦装置依次单向平移;并且,经过多次平移后,所述聚焦装置在初始位置时的相邻聚焦焦点之间的连线上,仅有预设数量的所述聚焦装置在新位置时的聚焦焦点,以使得所述聚焦光斑的焦点能量密度提高。

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权利要求:

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