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申请/专利权人：长沙韶光芯材科技有限公司
摘要：本发明公开了一种掩膜版涂胶装置，涉及光掩膜技术领域，包括：机架、转台、第一驱动组件、抽吸组件；转台水平旋转安装于机架，转台上端设有定位凸台，定位凸台用于将掩膜版定位在安装位上，转台上端边缘环绕设置有收胶凸台，收胶凸台内侧下端开设有收胶孔；第一驱动组件用于驱动转台旋转；抽吸组件连接在机架上，抽吸组件用于在位于安装位的掩膜版下方产生负压，抽吸组件还能在收胶孔中产生负压。本发明减少了多余的光刻胶对涂胶厚度的影响，有效的提高的了掩膜版上光刻胶厚度的均匀性。
主权项：1.一种掩膜版涂胶装置，其特征在于，包括：机架100；转台200，水平旋转安装于所述机架100，所述转台200上端设有定位凸台300，所述定位凸台300用于将掩膜版400定位在安装位上，所述转台200上端边缘环绕设置有收胶凸台500，所述收胶凸台500内侧下端开设有收胶孔510；第一驱动组件600，用于驱动所述转台200旋转；抽吸组件700，连接在所述机架100上，所述抽吸组件700用于在位于安装位的所述掩膜版400下方产生负压，所述抽吸组件700还能在所述收胶孔510中产生负压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长沙韶光芯材科技有限公司 一种掩膜版涂胶装置
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