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申请/专利权人：武汉云岭光电股份有限公司
摘要：本发明一种金丝防翻起的电极制备方法，包括如下步骤：S1，采用光刻胶完成电极光刻，S2，电极光刻完成后，刻蚀待沉积金属的材料层，刻蚀时控制刻蚀深度大于需沉积金属的厚度，S3，刻蚀完毕后，光刻胶与所述材料层分离并产生底部内切结构，S4，进行金属沉积，部分金属沉积在光刻胶上，部分金属沉积在所述材料层的刻蚀区域上，S5，剥离所述光刻胶，以去掉所述光刻胶上的金属，留下所述材料层上的金属，完成电极制备。还提供一种激光器制备方法，采用上述的金丝防翻起的电极制备方法制备电极。本发明通过刻蚀材料层，使光刻胶与材料层分离并产生undercut，金属沉积在材料层上，从而与光刻胶分离，避免电极剥离金丝翻起的现象。
主权项：1.一种金丝防翻起的电极制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1，采用光刻胶完成电极光刻，S2，电极光刻完成后，刻蚀待沉积金属的材料层，刻蚀时控制刻蚀深度大于需沉积金属的厚度，S3，刻蚀完毕后，光刻胶与所述材料层分离并产生底部内切结构，S4，进行金属沉积，部分金属沉积在光刻胶上，部分金属沉积在所述材料层的刻蚀区域上，S5，剥离所述光刻胶，以去掉所述光刻胶上的金属，留下所述材料层上的金属，完成电极制备。
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权利要求：
百度查询： 武汉云岭光电股份有限公司 金丝防翻起的电极制备方法以及激光器制备方法
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