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接合装置、接合方法及接合控制程序 

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申请/专利权人:株式会社新川

摘要:接合装置1包括:接合头2,包含对电子零件9进行加压的加压工具PT、及对加压工具PT进行加热的加热器22,加压工具PT构成为能够相对于加热器22装卸;存储部5,存储表示加热器22的设定温度的时间变化的温度控制数据;以及控制部4,基于温度控制数据控制加热器22的设定温度,温度控制数据具有与将电子零件9接合于基材8的接合条件建立了关联的一个以上的温度控制模式,控制部4根据接合条件,读出一个以上的温度控制模式中的任一温度控制模式,来控制加热器22的设定温度。

主权项:1.一种接合装置,将电子零件接合于基材,所述接合装置包括:接合头,包含对所述电子零件进行加压的加压工具、及对所述加压工具进行加热的加热器,所述加压工具构成为能够相对于所述加热器装卸;存储部,存储表示所述加热器的设定温度的时间变化的温度控制数据;以及控制部,基于所述温度控制数据,控制所述加热器的设定温度,所述温度控制数据具有与将所述电子零件接合于所述基材的接合条件建立了关联的一个以上的温度控制模式,所述控制部根据所述接合条件,读出所述一个以上的温度控制模式中的任一温度控制模式,并控制所述加热器的设定温度。

全文数据:

权利要求:

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