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一种新型测量薄膜电阻温度系数的方法及系统 

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申请/专利权人:北京智芯微电子科技有限公司;浙江大学

摘要:本发明公开一种新型测量薄膜电阻温度系数的方法及系统。本发明给电阻施加不同大小的恒定电流来控制电阻的温度;基于四探针法并通过改进的范德堡法计算电阻;基于不同恒定电流下所测得的电阻,结合红外测温仪获取的温度,计算得到电阻温度系数。本发明可以快速测量出温度,并由此计算出温度系数,节省大量时间成本,同时本发明不受样品大小和探针游移的影响,无需保持重复测量时探针位置一致性。

主权项:1.一种新型测量薄膜电阻温度系数的方法,其特征在于:给电阻施加不同大小的恒定电流来控制电阻的温度;基于四探针法并通过改进的范德堡法计算电阻;基于不同恒定电流下所测得的电阻,结合红外测温仪获取的温度,计算得到电阻温度系数。

全文数据:

权利要求:

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