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申请/专利权人：江苏山水半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及一种高硬度材料抛光液及其应用方法，所述抛光液中包括如下100％重量百分比的物料且不含有磨料：强氧化剂1‑5％，速率促进剂0.5‑5％，余量为水；所述抛光液中还包括pH调节剂，所述pH调节剂的用量为使所述抛光液的pH值＜5.5；所述强氧化剂选自高价铬盐、高价碘盐、高价氯盐、高价锰盐中的一种或多种；所述速率促进剂为铁盐。本发明抛光液能有效减少碳化硅等高硬度材料在抛光过程中产生的划痕等缺陷，且能够维持较高的去除速率；还能解决抛光液储存过程中产生的沉降问题，克服抛光液储存不稳定的问题。
主权项：1.一种高硬度材料抛光液，其特征在于，所述抛光液中包括如下100％重量百分比的物料且不含有磨料：强氧化剂1-5％，速率促进剂0.5-5％，余量为水；所述抛光液中还包括pH调节剂，所述pH调节剂的用量为使所述抛光液的pH值＜5.5；所述强氧化剂选自高价铬盐、高价碘盐、高价氯盐、高价锰盐中的一种或多种；所述速率促进剂为铁盐。
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权利要求：
百度查询： 江苏山水半导体科技有限公司 一种高硬度材料抛光液及其应用方法
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