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一种用于石英高损伤阈值基片抛光用的复合抛光模 

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申请/专利权人:深圳市兰光光学科技有限公司;南方工业技术研究院(深圳)

摘要:本实用新型涉及抛光设备技术领域,具体是涉及一种用于石英高损伤阈值基片抛光用的复合抛光模,包括大理石基底以及位于大理石基底上表面均匀设置的沥青层,所述沥青层的上表面均匀设置有玻璃板,所述玻璃板背离沥青层的表面上铺设有阻尼布层,抛光模使用时通过阻尼布层与镜片基片表面接触并对基片抛光;本技术方案是利用了沥青的弹性变化特性,使得阻尼布层表面能够具备一定的柔性与快速的回复度,减少抛光模抛光过程中脱落的颗粒对基片表面的损伤,提升基片面形精度。

主权项:1.一种用于石英高损伤阈值基片抛光用的复合抛光模,其特征在于:包括大理石基底4以及位于大理石基底4上表面均匀设置的沥青层3,所述沥青层3的上表面均匀设置有玻璃板2,所述玻璃板2背离沥青层3的表面上铺设有阻尼布层1,抛光模使用时通过阻尼布层1与镜片基片表面接触并对基片抛光。

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