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申请/专利权人：光驰半导体技术(上海)有限公司
摘要：本发明公开了一种基片架搬运装置，包括支撑主体，以及支撑机构；支撑主体上设置支撑机构，支撑主体可带动支撑机构移动，支撑机构可对基片架进行抱紧。本发明的有益效果为通过支撑主体可以带动支撑机构和升降机构进行移动，通过升降机构可以带动支撑机构进行升降，通过支撑机构可以对不同的基片架进行夹抱并进行移动，通过调整本装置，可以在镀膜机、外部放置台以及反应室内轻松自如地完成搬送动作，本装置将搬送基片架过程变得轻松简单，调节好的本装置与设备的高度时，搬送动作会非常容易，人员也不会直接接触到基片架，不会污染基片也不会被基片架烫伤，增加了安全性同时大幅度提高了工作效率。
主权项：1.一种基片架搬运装置，其特征在于：包括支撑主体1，支撑机构2，以及升降机构3，所述升降机构3设置在支撑主体1上，所述支撑机构2与所述升降机构3转动连接，所述升降机构3带动支撑机构2进行升降。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光驰半导体技术(上海)有限公司 一种基片架搬运装置
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