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申请/专利权人：中环领先半导体科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种抛光机用自动切换供液系统的供液方法，所述供液系统包括两端均分别与抛光机和抛光液存储装置相连接且连通的第一供液支路与第二供液支路，第一供液支路连接有第一循环支路，第二供液支路连接有第二循环支路，当第一供液支路对抛光机进行供液时，若抛光机发出抛光液流量低信号，则第一供液支路关闭并进行检修，打开第二供液支路；检修完成后，第一循环支路动作，进行抛光液内循环；当抛光机再次发出抛光液流量低信号时，则关闭第二供液支路并进行检修，打开第一供液支路对抛光机进行供液；检修完成后，第二循环支路动作，进行抛光液内循环；重复上述步骤，进行第一供液支路和第二供液支路切换供液，实现在不停机的情况下进行故障检修，避免工时浪费。
主权项：1.一种抛光机用自动切换供液系统的供液方法，其特征在于：所述供液系统包括两端均分别与抛光机和抛光液存储装置相连接且连通的第一供液支路与第二供液支路，所述第一供液支路连接有第一循环支路，所述第一循环支路与所述抛光液存储装置相连接，所述第二供液支路连接有第二循环支路，所述第二循环支路与所述抛光液存储装置相连接；当第一供液支路对抛光机进行供液时，若抛光机发出抛光液流量低信号，则第一供液支路关闭并进行检修，打开第二供液支路；检修完成后，第一循环支路动作，进行抛光液内循环；当所述抛光机再次发出抛光液流量低信号时，则关闭所述第二供液支路并进行检修，打开所述第一供液支路对抛光机进行供液；检修完成后，第二循环支路动作，进行抛光液内循环；重复上述步骤，进行所述第一供液支路和所述第二供液支路切换供液。
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