龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司
摘要：本申请提供了一种研磨垫、研磨设备及研磨方法。该研磨垫的工作表面上设有凸出工作表面的研磨颗粒；研磨垫的工作表面至少包括第一区域以及与第一区域相邻的第二区域；其中，研磨颗粒在第一区域和第二区域具有不同的粒度分布。该研磨垫可以减少研磨耗时，简化工艺步骤，有效提升研磨效率和产品良率。
主权项：1.一种研磨垫，其特征在于，所述研磨垫的工作表面上设有凸出所述工作表面的研磨颗粒；所述研磨垫的所述工作表面至少包括第一区域以及与所述第一区域相邻的第二区域；其中，所述研磨颗粒在所述第一区域和所述第二区域具有不同的粒度分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海积塔半导体有限公司 研磨垫、研磨设备及研磨方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号