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申请/专利权人：南京元感微电子有限公司

摘要：本发明涉及陀螺技术领域，公开一种全解耦双检测陀螺，包括：外部连接组件，包括悬设在衬底上的外框；两个驱动组件，两个驱动组件沿第一方向设置在外框内，每个驱动组件均包括驱动框和驱动电极；两个解耦组件，每个解耦组件均包括解耦框；两个检测组件，每个检测组件均包括连接框、内部连接弹性梁、检测框及检测固定电极，每个检测组件的检测框能够随连接框沿第二方向同步同向往复运动，还能够随连接框沿第二方向同步反向往复运动。本发明公开的全解耦双检测陀螺，存在两种检测模态，一方面可以在保证灵敏度的情况下，拓宽陀螺的带宽，增加陀螺的适用范围；另一方面可以在保证带宽的基础上，提高陀螺的灵敏度，降低了陀螺噪声，提高了陀螺精度。

主权项：1.一种全解耦双检测陀螺，其特征在于，包括：外部连接组件，包括悬设在衬底上的外框；两个驱动组件，两个所述驱动组件沿第一方向设置在所述外框内，每个所述驱动组件均包括驱动框和驱动电极，每个所述驱动框均与所述外框沿所述第一方向弹性连接，所述驱动电极能够驱动所述驱动框沿所述第一方向运动，两个所述驱动组件的所述驱动框同步反向运动；两个解耦组件，分别与两个所述驱动组件一一对应设置，每个所述解耦组件均包括解耦框，所述解耦框设置在所述驱动框内且两者沿第二方向解耦连接，所述解耦框能够随所述驱动框沿所述第一方向运动；两个检测组件，分别与两个所述解耦组件一一对应设置，每个所述检测组件均包括连接框、内部连接弹性梁、检测框及检测固定电极，所述连接框设置在所述解耦框内部且两者沿所述第一方向解耦连接，所述检测框设置在所述连接框内部，所述内部连接弹性梁能够沿所述第二方向伸缩且其两端分别与所述连接框和所述检测框相连，所述检测固定电极位于所述检测框内部且所述检测固定电极与所述检测框形成的检测电极用于检测所述检测框移动而引起的电容量变化，每个所述检测组件的所述检测框均能够随所述连接框沿第二方向同步同向往复运动，还能够随所述连接框沿所述第二方向同步反向往复运动，且两个所述检测组件的所述检测框同步反向往复运动；所述全解耦双检测陀螺检测第三方向的角速度时，所述解耦框受到沿第二方向的科氏力而运动，所述解耦框能够依次通过所述连接框和所述内部连接弹性梁带动所述检测框运动，所述检测电极检测的电容量发生变化。

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