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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本申请公开了一种三通道成像散射仪及参数测量方法，属于光学测量技术领域。本申请散射仪包括光源整形模块、第一光阑、分束器、显微物镜、反射镜、第二光阑、偏振分束器、消偏振分束器、第一CCD相机、第二CCD相机和第三CCD相机。本申请散射仪采用三通道测量光强信号，频域像包括由第一分支光束形成的S光频域像和由第二分支光束形成的P光频域像，空间像是由第三分支光束形成的空间像，本申请散射仪相较于现有设备多了一个频域像的通道，在获取显微物镜全后焦面特定级次散射光的光强或反射率信息时会有更多的信息，从而提高套刻误差的测量效率。
主权项：1.一种三通道成像散射仪，其特征在于，包括光源整形模块、第一光阑、分束器、显微物镜、反射镜、第二光阑、偏振分束器、消偏振分束器、第一CCD相机、第二CCD相机和第三CCD相机；光源整形模块将激光束整形为具有特定波长和特定偏振态的平行探测光后射入第一光阑；第一光阑调整探测光进入分束器的入射角与方位角，同时去除探测光中的零级光；位于显微物镜后焦面的分束器将入射探测光分为检测光和参考光；检测光经过显微物镜聚焦至待测物，参考光投射至反射镜；待测物的散射光返回分束器后和反射镜反射回分束器的参考光共同构成出射光，所述出射光经过第二光阑后投射至偏振分束器；第二光阑对出射光进行空间滤波，随后出射光被偏振分束器分为S偏振态光束和P偏振态光束；S偏振态光束在第一CCD相机上成像；P偏振态光束进入消偏振分束器后被分为消偏反射光和消偏透射光；消偏反射光在第二CCD相机上成像；消偏透射光在第三CCD相机上成像。
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权利要求：
百度查询： 华中科技大学 三通道成像散射仪及参数测量方法
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