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申请/专利权人：广东华恒智能科技有限公司
摘要：本发明公开一种激光直写曝光系统，包括激光直写曝光设备以及水冷装置和风冷装置，激光直写曝光设备包括壳体，壳体上设有进料口且壳体内设有吸盘、送料机构、龙门架，龙门架包括两支脚以及横梁，横梁第一侧部上安装有相机检测系统，第二侧部上安装有激光直写曝光装置，相机检测系统用于确认待曝光产品的位置，激光直写曝光装置用于对待曝光产品进行曝光，水冷装置用于对激光直写曝光装置进行冷却，风冷装置用于对壳体的内部空间进行冷却。本发明采用龙门架来安装相机检测系统以及激光直写曝光装置，并采用水冷装置对激光直写曝光装置进行冷却及采用风冷装置对壳体内的空间进行冷却，有效保证激光直写曝光设备的结构紧凑型以及曝光性能的稳定性。
主权项：1.一种激光直写曝光系统，其特征在于，包括激光直写曝光设备以及设于所述激光直写曝光设备外侧的水冷装置和风冷装置，所述激光直写曝光设备包括壳体，所述壳体上设有进料口且所述壳体内设有用于放置待曝光产品的吸盘、移动所述吸盘的送料机构、设于所述送料机构上方的龙门架，所述龙门架包括两个支脚以及连接两个所述支脚的横梁，所述横梁包括靠近所述进料口的第一侧部以及远离所述进料口的第二侧部，所述第一侧部上安装有相机检测系统，所述第二侧部上安装有激光直写曝光装置，所述相机检测系统用于确认待曝光产品的位置，所述激光直写曝光装置用于对运送至所述激光直写曝光装置下方的所述待曝光产品进行曝光，所述水冷装置用于对所述激光直写曝光装置进行冷却，所述风冷装置用于对所述壳体的内部空间进行冷却。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东华恒智能科技有限公司 激光直写曝光系统
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