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申请/专利权人:长沙韶光芯材科技有限公司
摘要:本发明涉及数据处理技术领域,具体涉及基于数据分析的玻璃基板涂胶多点胶厚评估方法,包括:获取已涂胶玻璃基板表面胶膜的关联数据和对应的白光干涉信号;基于所述关联数据和所述白光干涉信号,构建所述胶膜的上表面的干涉峰峰值位置以及所述胶膜的下表面的干涉峰峰值位置;基于所述上表面的干涉峰峰值位置以及所述下表面的干涉峰峰值位置,确定所述已涂胶玻璃基板表面的胶膜校正厚度;基于所述胶膜校正厚度,对所述已涂胶玻璃基板表面的胶厚进行评估。该方法实现了对下表面与上表面在白光干涉信号中对应的干涉峰峰值位置的分离,实现对已涂胶玻璃基板表面的多点胶厚测量,从而降低多点胶厚测量结果对后续胶厚云图分析涂胶分布流动趋势的影响。
主权项:1.基于数据分析的玻璃基板涂胶多点胶厚评估方法,其特征在于,所述方法包括:获取已涂胶玻璃基板表面胶膜的关联数据和对应的白光干涉信号;基于所述关联数据和所述白光干涉信号,构建所述胶膜的上表面的干涉峰峰值位置以及所述胶膜的下表面的干涉峰峰值位置;基于所述上表面的干涉峰峰值位置以及所述下表面的干涉峰峰值位置,确定所述已涂胶玻璃基板表面的胶膜校正厚度;基于所述胶膜校正厚度,对所述已涂胶玻璃基板表面的胶厚进行评估。
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