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申请/专利权人：武汉大学
摘要：本发明公开一种双晶单色器平行度动态测量系统、方法，能规避固有高程差的变化，以及高速、高精度测量转动过程中双晶的平行度。系统包括：激光器，其提供平行光，出射的平行光入射到双晶单色器的一晶上，反射至二晶；位置敏感探测器；凸透镜，其位于双晶单色器和位置敏感探测器之间，二晶反射的光经过凸透镜后入射至位置敏感探测器在其上形成光斑；以及位置敏感处理器，其被配置为计算光斑位置的变化实现双晶单色器平行度的准静态和动态测量。
主权项：1.一种双晶单色器平行度测量系统，其特征在于，包括：位置敏感探测器；凸透镜，其位于双晶单色器和位置敏感探测器之间；激光器，其提供平行光，出射的平行光入射到双晶单色器的一晶上，反射至二晶，再经过凸透镜射向位置敏感探测器，在位置敏感探测器产生光斑；处理设备，其被配置为计算位置敏感探测器上光斑位置的变化Δx，并基于光斑位置的变化计算出双晶单色器的平行度a，计算公式为：f×tana＝Δx，f为透镜的焦距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 双晶单色器平行度动态测量系统、方法
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