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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具备：预处理单元，该预处理单元对研磨前的基板的背面进行亲水化处理；以及研磨单元，该研磨单元研磨由预处理单元对背面进行了亲水化处理后的基板的表面。
主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：预处理单元，该预处理单元对研磨前的基板的背面进行亲水化处理；以及研磨单元，该研磨单元研磨由所述预处理单元对背面进行了亲水化处理后的基板的表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 基板处理装置以及基板处理方法
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