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申请/专利权人：北京兆维智能装备有限公司
摘要：本发明涉及一种用于显微系统的样品位姿调整方法。在本发明中，第一平面反射装置安装在显微系统的物镜安装端面上，第一平面反射装置垂直于显微系统光轴。最终照射至光束采集装置上的第三光束与第四光束位置重合时，说明本发明中各个装置构成的系统的光轴与显微系统光轴平行。此时，将第一平面反射装置替换为样品，当第四光束与第五光束再次位置重合后，说明样品与显微系统物镜之间的角度与第一平面反射装置与显微系统物镜之间的角度相同，也就是样品与显微系统物镜垂直。因此，通过判断光束采集装置中第四光束与第五光束的位置，便能够判断样品相对于显微系统的垂直姿态，从而进行样品角度的调整，保证显微系统检测的精确性。
主权项：1.一种用于显微系统的样品位姿调整方法，其特征在于，所述显微系统1的物镜安装端面2上安装第一平面反射装置3；在所述第一平面反射装置3的上方设置第一分束装置4，在所述第一分束装置4的一侧依次设置第二分束装置5和激光光源6；在所述第二分束装置5的上方设置光束采集装置7，在所述第二分束装置5的下方设置第二平面反射装置8；所述方法包括：控制所述激光光源6发射激光，所述激光经由所述第二分束装置5分成第一光束和第二光束；其中，所述第一光束沿所述第一分束装置4照射至所述第一平面反射装置3，并经所述第一平面反射装置3反射后沿所述第一分束装置4、第二分束装置5返回，形成第三光束照射至所述光束采集装置7；所述第二光束垂直照射至所述第二平面反射装置8，并经所述第二平面反射装置8反射后沿所述第二分束装置5返回，形成第四光束照射至所述光束采集装置7；调整所述第一分束装置4的角度，直至所述第三光束与所述第四光束位置重合；取下所述第一平面反射装置3，并将待检测的样品放置在所述显微系统1的载物台上；所述第一光束沿所述第一分束装置4照射至所述样品，并经所述样品反射后沿所述第一分束装置4、第二分束装置5返回，形成第五光束照射至所述光束采集装置7；根据所述第四光束与所述第五光束的相对位置，调整所述样品的位姿，直至所述第四光束与所述第五光束位置重合。
全文数据：
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