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高效率多光谱硫化锌窗口的离子束抛光方法和系统 

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申请/专利权人:上海航天控制技术研究所

摘要:本发明提供了一种高效率多光谱硫化锌窗口的离子束抛光方法和系统,采用环抛机对多光谱硫化锌毛胚进行加工,得到多光谱硫化锌光学窗口样件;采用激光干涉仪测量样件的面形数据;将测量样件得到的面形数据导入仿真软件计算得到离子束加工的NC代码;在净化台内对样件进行清洁处理、非加工面保护和样件装夹;将夹具安装于副真空室的运动机构并移动至主真空室内;启动离子束抛光设备的离子源,待离子源运行一定的设定时间后稳定;采用宽束径进行粗加工;采用窄束径进行精加工;加工完成后取出样件,待其降至室温后采用激光干涉仪测量样件的面形。采用该方法可大幅提高多光谱硫化锌材料表面质量,得到高精度多光谱硫化锌光学窗口样件。

主权项:1.一种高效率多光谱硫化锌窗口的离子束抛光方法,其特征在于,包括:步骤1:采用环抛机对多光谱硫化锌毛胚进行加工,得到多光谱硫化锌光学窗口样件;步骤2:采用激光干涉仪测量样件的面形数据;步骤3:将样件的面形数据导入仿真软件,计算得到离子束加工的NC代码;步骤4:在洁净台内对样件进行清洁处理、非加工面保护和样件装夹;将夹具安装于副真空室的运动机构并移动至主真空室内;步骤5:启动离子束抛光设备的离子源,待离子源运行一段时间后稳定;步骤6:采用宽束径离子束进行粗加工;步骤7:采用窄束径离子束进行精加工;步骤8:加工完成后取出硫化锌样件,待其降至室温后采用激光干涉仪测量样件的面形,得到高精度多光谱硫化锌光学窗口样件。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海航天控制技术研究所 高效率多光谱硫化锌窗口的离子束抛光方法和系统

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