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申请/专利权人：华天慧创科技(西安)有限公司
摘要：本发明属于光学器件制备技术领域，具体涉及一种柱状棱镜的制备方法。本发明通过纳米压印工艺将纳米晶圆模具上的图案转印至玻璃基板得到第一模板，由第一模板通过压印工艺将纳米结构图案转印至棱镜基底表面，分离得到第二模板，对所述第二模板进行垂直刻蚀得到柱状棱镜。本发明采用纳米压印工艺进行压印，利用设备的高精度对面型进行补偿，缩小了模具与柱状棱镜间的面型差距。本发明采用垂直刻蚀工艺对具有纳米结构图案的棱镜基底进行刻蚀，将纳米结构图案从压印胶层转移至棱镜基底，在棱镜基底上形成纳米结构图案，得到柱状棱镜。本发明提供的制备方法制备得到的柱状棱镜较传统柱状棱镜具有更大的视场角，能够有效地提高匀光性能。
主权项：1.一种柱状棱镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在模具的表面涂覆第一压印胶，在所述第一压印胶上设置玻璃基板，依次进行第一纳米压印和第一固化，得到第一模板，所述第一模板包括玻璃基板和位于所述玻璃基板表面的第一胶层；在棱镜基底的表面涂覆第二压印胶，在所述第二压印胶上设置所述第一模板，依次进行第二纳米压印和第二固化，得到第二模板，所述第二模板包括棱镜基底和位于所述棱镜基底表面的第二胶层；所述第二压印胶和所述第一胶层接触；对所述第二模板上具有第二胶层的一侧进行垂直刻蚀，得到所述柱状棱镜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华天慧创科技(西安)有限公司 一种柱状棱镜的制备方法
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