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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于光电材料制备技术领域，公开了一种氧化铟锌靶材及其制备方法。所述氧化铟锌靶材由氧化铟和氧化锌组成，靶材中Zn与In的原子比为ZnZn+In＝18％～50％。所述制备方法为：将分散剂、氧化锌粉末和氧化铟粉末以及粘结剂加入到水中，搅拌分散均匀后经过湿法研磨，得到混合浆料；将所得混合浆料通过喷雾造粒，得到IZO粉末，然后经过干压和冷等静压后进行烧结，得到氧化铟锌靶材。本发明的IZO靶材具有高比例的ZnO加入量，并能够达到较高的致密度和导电性，可显著减少金属铟的使用量。
主权项：1.一种氧化铟锌靶材的制备方法，其特征在于，所述氧化铟锌靶材由氧化铟和氧化锌组成，靶材中Zn与In的原子比为ZnZn+In=18%~50%；所述制备方法包括如下制备步骤：a）将氧化锌粉末与分散剂加入到水中搅拌分散均匀，然后通过湿法研磨，得到浆料粒度D50≤0.2μm，D90≤0.6μm的小粒径浆料；b）将氧化铟粉末与分散剂加入到水中搅拌分散均匀，然后通过湿法研磨，得到浆料粒度0.2μm＜D50≤0.5μm，0.6μm＜D90≤1μm的大粒径浆料；c）将步骤a）的小粒径浆料与步骤b）的大粒径浆料混合，然后加入粘结剂搅拌分散均匀，得到混合浆料；d）将步骤c）的混合浆料经喷雾造粒，得到IZO粉末；e）将所得IZO粉末经过干压和冷等静压后进行烧结，得到氧化铟锌靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种氧化铟锌靶材及其制备方法
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