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拉晶设备 

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申请/专利权人:PVA特普拉股份公司

摘要:为了使拉晶设备的加热装置同轴于坩埚(3)来定向,以便坩埚(3)与加热装置之间的环形间隙(13)在所述坩埚(3)的圆周范围内是恒定的,本发明规定,所述加热装置布置在具有内部的防护罩(12)的壳体中,其中所述防护罩静置于支承环(16)上,所述支承环(16)又处于支承销上,所述支承销则布置在容器(1)的底部与所述支承环(16)之间并且所述支承销至少关于径向方向相对于所述容器(1)的或者支承环(16)的底部得到固定。

主权项:1.拉晶设备,具有一个拥有容器底部的容器(1)、处于所述容器中的用于容纳溶化物(2)的坩埚(3)、将所述坩埚(3)包围的空心圆筒状的加热装置、在外面将所述加热装置包围的侧部隔绝部(15)以及布置在所述坩埚(3)下方的底部隔绝部(14),其特征在于,所述加热装置具有加热器(4)、布置在所述加热器(4)与所述坩埚(3)之间的圆筒状的防护罩(12)以及支承环(16),从而在所述坩埚(3)与所述防护罩(12)之间构成环形间隙(13),并且为了将所述防护罩支撑在容器底部上而在所述容器底部与所述支承环之间设置有至少三根贯穿所述底部隔绝部(14)的支承销(17)。

全文数据:

权利要求:

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