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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于氧化物靶材制备技术领域，公开了一种高迁移率氧化铟钛铈钽靶材及其制备方法。所述制备方法为：按质量比为97.95～98.47:0.23～0.35:0.50～0.75:0.80～1.12称取氧化铟、氧化钛、氧化铈和氧化钽粉末；将上述粉末加入到分散剂水溶液中搅拌分散后研磨，得到浆料一，再加入黏结剂进行预分散和研磨得到浆料二；将浆料二通过喷雾造粒，混料和筛分，得到混合粉末；将混合粉末经过干压和冷等静压后进行热处理，得到高迁移率氧化铟钛铈钽靶材。本发明通过对靶材中各组分进行调节，可显著提高靶材的迁移率和导电性能。
主权项：1.一种高迁移率氧化铟钛铈钽靶材的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤：（1）按质量比为97.95~98.47:0.23~0.35:0.50~0.75:0.80~1.12称取氧化铟粉末、氧化钛粉末、氧化铈粉末和氧化钽粉末；（2）将分散剂加入到水中搅拌溶解均匀，然后加入步骤（1）中称取好的氧化物粉末，搅拌进行预分散，将预分散后的浆料用泵打入砂磨机中进行研磨，得到浆料一；（3）向步骤（2）所得的浆料一中加入黏结剂进行预分散，通过砂磨机研磨得到浆料二；（4）将步骤（3）中得到的浆料二通过喷雾造粒，再进行混料和筛分，得到氧化铟钛铈钽混合粉末；（5）将步骤（4）所得氧化铟钛铈钽混合粉末经过干压和冷等静压后进行热处理，得到高迁移率氧化铟钛铈钽靶材；步骤（2）中所述浆料一的固含量为30%~75%；浆料一的粒径D50为0.2~0.6μm，D90为0.2~1.2μm；步骤（3）中所述浆料二的固含量为45~75%；浆料二的粒径D50为0.2~0.5μm，D90为0.2~1.2μm；步骤（5）中所述干压时的压力在20~95Mpa之间，成型时间在60~180s之间；冷等静压时的压力在200~500Mpa之间，成型时间在60~180s之间；步骤（5）中所述热处理过程为：先在空气气氛及400~600℃温度下进行脱脂处理，然后冷却至室温，通入氧气，在氧气气氛下升温至1300~1550℃进行常压烧结处理。
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权利要求：
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