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申请/专利权人：宁夏隆基乐叶科技有限公司
摘要：本发明公开一种选择性发射极及其制备方法、太阳能电池及太阳能组件，涉及太阳能电池领域，用于解决选择性发射极工艺复杂，制造难度大的问题。该制备方法包括：在硅基底至少一面上制绒，得到绒面结构；对绒面结构表面进行掺杂处理，以形成覆盖绒面结构的低浓度掺杂层和覆盖低浓度掺杂层的高浓度掺杂层；位于绒面结构顶部位置上的高浓度掺杂层的厚度大于位于其余位置上高浓度掺杂层的厚度；对高浓度掺杂层的整面进行刻蚀处理，刻蚀厚度大于或等于位于其余位置上的高浓度掺杂层的厚度，以去除其余位置上的高浓度掺杂层，保留顶部位置上剩余的高浓度掺杂层。本方法无需掩膜工序，简化了工艺，无需高浓度掺杂层图形与金属电极图形重叠，降低制造难度。
主权项：1.一种选择性发射极的制备方法，其特征在于，包括步骤：在硅基底的至少一面上制绒，得到绒面结构；对所述绒面结构的表面进行掺杂处理，以形成覆盖所述绒面结构的低浓度掺杂层和覆盖所述低浓度掺杂层的高浓度掺杂层；其中，位于所述绒面结构的顶部位置上的所述高浓度掺杂层的厚度大于位于所述绒面结构的其余位置上的所述高浓度掺杂层的厚度；对所述高浓度掺杂层的整面进行刻蚀处理，所述刻蚀处理的刻蚀厚度大于或等于位于所述绒面结构的所述其余位置上的高浓度掺杂层的厚度，以去除位于所述绒面结构的所述其余位置上的所述高浓度掺杂层，且保留位于所述绒面结构的所述顶部位置上剩余的所述高浓度掺杂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁夏隆基乐叶科技有限公司 选择性发射极及其制备方法、太阳能电池和太阳能组件
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