龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：芜湖映日科技股份有限公司
摘要：本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种高密度IZTO靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：S1原材料选择、S2氧化锌球磨、S3混合球磨、S4喷雾造粒、S5压力成型、S6靶材烧结。本发明选用特定BET值的氧化铟、氧化锡和氧化锌作为原材料，通过搅拌球磨使粉末混合均匀，经离心式喷雾造粒机干燥造成IZTO粉末，再使用等静压成型机将IZTO粉末压缩成素胚，然后在常压氧气气氛下进行烧结处理，控制升温速率和保温时间以实现高密度靶材的制备。与传统工艺相比，该方案可大幅度提高靶材的密度和均匀性，具有显著的应用价值。
主权项：1.一种高密度IZTO靶材的制备方法，其特征在于，具体制备步骤如下：S1原材料选择：氧化铟的BET为5-10m2g，氧化锡的BET为10-15m2g，氧化锌的BET为10-20m2g；S2氧化锌球磨：在装有φ1-2mm锆珠的球磨罐中加入纯水和氧化锌，纯水加入量与氧化锌的加入量相同，球磨时间16-24h，得到氧化锌浆料；S3混合球磨：在氧化锌浆料中加入纯水、氧化铟和氧化锡，纯水加入量与氧化铟的加入量相同，球磨时间24-48h，得到IZTO浆料；S4喷雾造粒：将IZTO浆料使用离心式喷雾造粒机进行干燥造粒，进风温度200-230℃，出风温度80-100℃，得到IZTO粉末；S5压力成型：将IZTO粉末装入模具中进行等静压成型，成型压力280-300MPa，得到IZTO素坯；S6靶材烧结：将IZTO素坯放入常压氧气气氛高温烧结炉中进行烧结，烧结温度1450℃，保温时间20-40h，其中1300℃到1450℃的升温速率为0.03-0.05℃min，得到高密度IZTO靶材；所述步骤S1中氧化铟质量百分比为40％-60％、氧化锡质量百分比为5％-10％和氧化锌质量百分比为30％-55％，氧化铟、氧化锡和氧化锡的氧化锡质量百分比总和为100％；所述步骤S6中高密度IZTO靶材的相对密度为99.91-99.95％，晶粒尺寸为3-3.2μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芜湖映日科技股份有限公司 一种高密度IZTO靶材的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号