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申请/专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
摘要：本发明公开了一种光刻环形光瞳照明系统装调方法，优化了全息版图中的主全息相位分布。本发明光刻环形光瞳照明系统装调方法，能够实现纳米级位移、秒级角度的圆锥透镜的光轴定心装调。圆锥透镜的光轴定心误差精度由标准干涉仪的测量精度、标准自准直反射镜的平整度和全息图精度三项保证。本发明的精度误差来源更少，误差更小。
主权项：1.一种光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，用于对光刻环形光瞳照明系统进行装调，光刻环形光瞳照明系统具有用于将实心光束转换为环形光的环形光瞳转换模块，所述环形光瞳转换模块包括两个圆锥透镜，装调时还使用干涉仪和标准反射镜，所述计算全息图包括基板，所述基板上具有全息版图，所述全息版图包括对准全息、辅助全息和主全息，对准全息用于实现调整与确定所述计算全息图与干涉仪的相对姿态与位置；辅助全息用于实现调整与确定所述计算全息图与标准反射镜的相对姿态与位置；其特征在于，主全息用于实现调整与确定所述计算全息图与待装调的圆锥透镜的相对姿态与位置；全息版图中的主全息相位分布为径向从中心向外辐射分布，相位分布满足公式： ，公式中，d是径向相位分布变化2π时的周期间隔；θ1是干涉仪激光照射在所述计算全息图表面的入射角；θ2是干涉仪激光透射出所述计算全息图表面后的衍射角；M是衍射级次；λ是干涉仪波长；n1和n2分别是径向相位前后表面的折射率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学杭州国际科创中心 一种光刻环形光瞳照明系统装调方法
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